该厂为85英寸晶圆产生线生活配套的超注射用水装置，每次产生含硅污水150吨。污水下虽无天价属，但硅水平高易水垢，且内阻率需可达18MΩ·cm才会回收。增加了加工加工尚未满意新出台的《智能电子工业化水污染源物废气尾气排放准则》（GB39731-2020）特意废气尾气排放限制值。 生产废水成份优点和缺点 核心环境大气污染物 ：溶液硅（200-300mg/L）、粒子硅（颗粒直径0.1-1μm） 特有想要 ：TOC<10μg/L，硼硫含量<5μg/L 水质检测基本特性 ：低导电率（<50μS/cm）但硅化学物质姿态繁琐 治疗工艺设备过程 创新发展用于"梯级膜提取+电去化合物"搭配组合生产技术： 微滤采样 ：1μm瓷砖膜过滤大颗粒剂硅，通量形成80LMH 阴离子交流树酯 ：D201大孔不饱和树脂确定性活性炭吸附硅酸原子核 下级RO系统 ：首段收回率60%，第五段采用了高脱硼膜构件 EDI电去亚铁离子 ：功率密度计算公式2A/m²，不断地祛除的残留物化合物 紫外光杀菌消毒 ：254nm紫外光线标准容量40mJ/cm² 技術突出 開發专业阻硅剂（有机会胺类软型物），廷缓膜弄脏周期时间3倍 EDI模块电源科学创新流道设定，硅彻底清除率加快至99.8% 线上硅分折仪（检测的范围内0.1-500μg/L）变现有目的保持 运动转化效果 经第3方探测： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼成分从8μg/L高于0.3μg/L 系統二手回成品率从原40%提高自己至68% 膜根换时间是调长至5年，年运作制造费缩减35%