某光电器件手工制造企业主因晶圆洗涤制作工艺制造含氨废水除理,排水量200吨/天。废水除理中除化学需氧量外还含有氟化物和少量高价属,除理难易度大。地区产生需要需要化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废污水材质及渠道
晶圆除垢废水处理(主要是原因):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工作生活污水:含氢化物发生器铜、镍等巨资属,pH值跌涨大
CMP粉磨电镀废水:含硅粒状及氧化还原电位
加工艺的流程
用于"检查是否沉定+膜拆分+折点氯化"组装艺:
预治理
:添加CaCl2除氟,抑制pH在7.5-8.
反渗透膜控制系统
:清掉0.01μm之上颗粒状物
反构建浸提
:将挥发酚浓缩提炼至1000mg/L超过
折点氯化
:小于调整氯加药量,将挥发酚转换为离氮气
铁离子交流
:后勤保障天价属及格
以后成效
高锰酸盐指数平衡<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属含氧量最低检验限
水回收率达75%
飞灰会产生量以减少40%